光伏新能源

光伏太陽能、動(dòng)力電池生產(chǎn)對(duì)超純水用量極大，因此系統(tǒng)具有產(chǎn)水量大、出水質(zhì)量高、系統(tǒng)穩(wěn)定，水質(zhì)要求≥17MΩ*cm（25℃）

太陽能電池片的生產(chǎn)工藝流程分為硅片檢測(cè)--表面制絨及酸洗--擴(kuò)散制結(jié)--去磷硅玻璃--等離子刻蝕及酸洗--鍍減反射膜--絲網(wǎng)印刷--快速燒結(jié)等。在去磷硅玻璃工藝用于太陽能電池片生產(chǎn)制造過程中，通過化學(xué)腐蝕法也即把硅片放在氫氟酸溶液中浸泡，使其產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)生成可溶性的絡(luò)和物六氟硅酸，以去除擴(kuò)散制結(jié)后在硅片表面形成的一層磷硅玻璃。在擴(kuò)散過程中，POCL3與O2反應(yīng)生成P2O5淀積在硅片表面。P2O5與Si反應(yīng)又生成SiO2和磷原子，這樣就在硅片表面形成一層含有磷元素的SiO2，稱之為磷硅玻璃。去磷硅玻璃的設(shè)備一般由本體、清洗槽、伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、機(jī)械臂、電氣控制系統(tǒng)和自動(dòng)配酸系統(tǒng)等部分組成，主要?jiǎng)恿υ从袣浞?、氮?dú)狻嚎s空氣、純水，熱排風(fēng)和廢水。氫氟酸能夠溶解二氧化硅是因?yàn)闅浞崤c二氧化硅反應(yīng)生成易揮發(fā)的四氟化硅氣體。若氫氟酸過量，反應(yīng)生成的四氟化硅會(huì)進(jìn)一步與氫氟酸反應(yīng)生成可溶性的絡(luò)和物六氟硅酸。太陽能電池片清洗用水工藝流程：石英砂過濾器+活性炭過濾器+一級(jí)反滲透+二級(jí)反滲透+EDI系統(tǒng)+拋光混床系統(tǒng)

多晶硅超純水工藝流程圖

多晶硅、單晶硅清洗用水工藝比較

目前制備電子工業(yè)用超純水的工藝基本上是以上三種，其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎(chǔ)上進(jìn)行不同組合搭配衍生而來?，F(xiàn)將他們的優(yōu)缺點(diǎn)分別列于下面：

設(shè)備優(yōu)點(diǎn)

第一種 采用離子交換樹脂

其優(yōu)點(diǎn)在于初投資少，占用的地方少，但缺點(diǎn)就是需要經(jīng)常進(jìn)行離子再生，耗費(fèi)大量酸堿，而且對(duì)環(huán)境有一定的破壞。

但缺點(diǎn)就是需要經(jīng)常進(jìn)行離子再生，耗費(fèi)大量酸堿，而且對(duì)環(huán)境有一定的破壞。
第二種 采用反滲透作為預(yù)處理再配上離子交換

其特點(diǎn)為初投次比采用離子交換樹脂方式要高

但離子再生周期相對(duì)要長(zhǎng)，耗費(fèi)的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。但對(duì)環(huán)境還是有一定的破壞性。
第三種 采用反滲透作預(yù)處理
再配上電去離子(EDI)裝置

這是目前制取超純水最經(jīng)濟(jì)，最環(huán)保用來制取超純水的工藝，不需要用酸堿進(jìn)行再生便可連續(xù)制取超純水，對(duì)環(huán)境沒什么破壞性。

其缺點(diǎn)在于初投資相對(duì)以上兩種方式稍貴一點(diǎn)。

技術(shù)要求

超純水專用膜

采用膜表面高分子嫁接技術(shù)，產(chǎn)水TOC在20PPB以下，更適用電子級(jí)超純水系統(tǒng)。
高TOC脫除率、高抗污染能力、低TOC溶出率，TOC達(dá)標(biāo)沖洗時(shí)間短、先進(jìn)配套電源技術(shù)，能耗更低。

電去離子技術(shù)

離子交換樹脂再生不需要使用昂貴且有危害的化學(xué)品，降低了能源和運(yùn)行費(fèi)用、設(shè)施的大小要求。
采用新型均勻樹脂包填充，有效提高脫鹽率。

水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)

1、ASTM-D5127-2007《美國(guó)電子學(xué)和半導(dǎo)體工業(yè)用超純水標(biāo)準(zhǔn)》

2、歐盟電子級(jí)超純水標(biāo)準(zhǔn)

3、中國(guó)電子工業(yè)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)