在半導(dǎo)體及液晶面板行業(yè)超純水制程中，離子交換因其對(duì)TOC以及二氧化硅、硼等離子優(yōu)秀的脫除能力而被廣泛應(yīng)用。

預(yù)過(guò)濾水從活性炭過(guò)濾器出來(lái)后，即被導(dǎo)入陽(yáng)、陰離子交換器由陽(yáng)離子交換器的頂部流向底部；此陽(yáng)離子交換器內(nèi)填裝有強(qiáng)酸性陽(yáng)樹脂，包含鈣、鎂、鈉、銨根等陽(yáng)離子在此與氫離子（H+）進(jìn)行置換。

從陽(yáng)離子交換器出來(lái)的水通過(guò)脫氣塔，去除二氧化碳，再流入陰離子交換器，陰離子交換器填裝有弱堿性陰離子樹脂（上層）與強(qiáng)堿性離子交換樹脂（下層），亞硫酸根、硝酸根、氯離子、氟離子等陰離子在此從水中去除。

組成結(jié)構(gòu)：

• 2B：代表兩床（Beds），即陽(yáng)床和陰床。
• 3T：代表三塔（Towers），其中包括脫碳塔。

工作原理：

• 陽(yáng)床：利用陽(yáng)離子交換樹脂吸附水中的陽(yáng)離子。
• 脫碳塔：用于去除水中的CO2（二氧化碳），通過(guò)這一過(guò)程減少水的堿度。
• 陰床：利用陰離子交換樹脂吸附水中的陰離子。

功能特點(diǎn)：通過(guò)陽(yáng)、陰離子交換過(guò)程，可以將水的電導(dǎo)率降低到1 μs/cm以下。脫碳過(guò)程有助于提升后續(xù)反滲透（RO）系統(tǒng)的回收率，通常可達(dá)到90%以上。

應(yīng)用領(lǐng)域：該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、液晶面板制造等需要超純水的行業(yè)。適用于各種制造過(guò)程中的清洗用水以及鍋爐給水