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工業(yè)半導(dǎo)體超純水設(shè)備有哪些
解答：工業(yè)半導(dǎo)體超純水設(shè)備有哪些
半導(dǎo)體設(shè)備，包括半導(dǎo)體硅片制造中的清洗設(shè)備、蝕刻處理設(shè)備、清洗工藝等。集成電路是當(dāng)今世界上最大、最復(fù)雜的電子產(chǎn)品之一，集成電路已成為一種重要的電子產(chǎn)品。目前，國際上主流的集成電路制造工藝為外延、芯片制作、封裝以及測試工藝所組成。其中，硅片制造采用外延技術(shù)，芯片制作則是芯片生產(chǎn)中最為關(guān)鍵的環(huán)節(jié)之一。而用超純水對硅片進(jìn)行清洗及蝕刻是使硅片表面達(dá)到潔凈級的方法之一，在目前國內(nèi)還沒有成熟設(shè)備可用于此項(xiàng)工作。
一、超純水制備過程
超純水制備過程，主要是指通過反滲透設(shè)備（RO）對原水進(jìn)行預(yù)處理，去除水中的懸浮物、膠體等雜質(zhì)；再利用陽離子交換樹脂去除水中的有機(jī)物、細(xì)菌等有害物質(zhì)；最后通過高壓蒸餾裝置，用純水進(jìn)行進(jìn)一步純化處理，使原水達(dá)到超純水標(biāo)準(zhǔn)。在此過程中，需注意以下幾點(diǎn)：
1、對于不需要進(jìn)一步純化處理的原水中有有機(jī)物、細(xì)菌超標(biāo)的情況下，可采用離子交換樹脂去除這些物質(zhì)；2、對于需要較高純度水的系統(tǒng)如：半導(dǎo)體制造工藝中用于清洗工藝設(shè)備需用高純度超純水；
3、在選擇反滲透膜組件時(shí)應(yīng)盡量避免使用膜通量偏低或者截留率偏高的設(shè)備，以保證正常使用時(shí)不會因超濾膜通量低導(dǎo)致反滲透系統(tǒng)結(jié)垢。
二、設(shè)備構(gòu)成及技術(shù)指標(biāo)：
采用 RO膜處理工藝， RO設(shè)備由三個(gè)部分組成：膜池、純化水箱、控制箱。RO設(shè)備的運(yùn)行原理為：在純水器內(nèi)加入一定量的混凝劑，通過混凝沉淀將水中雜質(zhì)及膠體物質(zhì)分離去除；然后再經(jīng)過一系列工藝過程來達(dá)到超純水的生產(chǎn)要求。純化水箱用來儲存超純凈水、純水、有機(jī)溶液及其他雜質(zhì)，控制箱是對整個(gè)系統(tǒng)運(yùn)行的一個(gè)監(jiān)控系統(tǒng)，當(dāng) RO裝置正常運(yùn)行時(shí)，產(chǎn)水通過控制箱直接與純水和有機(jī)溶液相連。
三、主要技術(shù)參數(shù)：
1、原水水質(zhì)：純水標(biāo)準(zhǔn)；
2、運(yùn)行成本：不含電導(dǎo)率，運(yùn)行費(fèi)用低；
3、純水通量：10L/h左右。
四、典型應(yīng)用實(shí)例介紹：
超純水設(shè)備可用于半導(dǎo)體行業(yè)中超純水生產(chǎn)的工藝流程，主要包括離子交換膜清洗、反滲透純化以及后續(xù)的化學(xué)清洗。該工藝可用于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的硅片清洗及蝕刻，并可進(jìn)一步減少硅雜質(zhì)和提高電性能。在實(shí)際應(yīng)用中，通常將高純水系統(tǒng)和化學(xué)清洗系統(tǒng)進(jìn)行有機(jī)結(jié)合，采用多層膜分離技術(shù)對產(chǎn)水水質(zhì)進(jìn)行監(jiān)控、管理及控制，使產(chǎn)水量達(dá)到規(guī)定要求。采用超純水設(shè)備對半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線進(jìn)行制膜操作，使其產(chǎn)水水質(zhì)可達(dá)到國家規(guī)定的超純（超純?yōu)?-10倍）和高純（含雜質(zhì)≤0.003 mg/L，可保證集成電路生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的雜質(zhì)、水垢等對生產(chǎn)工藝影響最小）。該系統(tǒng)可以確保產(chǎn)水量的穩(wěn)定性及可控性，是高純超純水生產(chǎn)企業(yè)理想的解決方案。
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純水處理濾芯種類有哪些？
解答：
純水處理濾芯種類有哪些？
純水設(shè)備的處理濾芯種類很多，在工業(yè)純水處理中，一般來說采用反滲透、EDI等過濾。這幾種純水處理可以滿足大部分用戶的用水需求。
純水處理濾芯種類：
1.活性炭濾芯：這種濾芯是由果皮、果核、木炭、煤等主要的原材料，經(jīng)過高溫處理，從而組合成活性炭，活性炭濾芯可以有效的阻擋雜志、細(xì)菌、病毒、化工等污染物，不過這種濾芯在生活用水和市政用水的情況較多，工業(yè)上用作污水處理的較多。
2.RO反滲透膜：這種材料常常用于工業(yè)化純水設(shè)備，在特制的水處理系統(tǒng)中，用高壓水泵增加原水的壓力，使原水在壓力的作用下滲透過孔徑只有0.0011微米，這種過濾效果很好。水質(zhì)通過ro膜只有水分子能過濾出來，其他的雜質(zhì)、細(xì)菌、病毒均不能通過。過濾出來的水也被稱為純水，符合國家用水的標(biāo)準(zhǔn)，也可以直接飲用。
3.陶瓷濾芯：陶瓷濾芯是由硅藻土經(jīng)成型和高溫?zé)Y(jié)而成。其凈化原理與活性炭相似，但過濾效果好，使用壽命長。0.1微米的孔徑可以有效過濾掉水中的泥沙、生銹的鐵、一些細(xì)菌和寄生蟲。濾芯容易再生，可以經(jīng)常用刷子清洗，用砂紙打磨。
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活性炭過濾器的作用和原理——純水一號
解答：
活性炭過濾器的作用和原理——純水一號
什么是活性炭過濾器？活性炭過濾器的作用是什么？原理是什么？今天就讓小編帶大家來了解一下！
活性炭過濾器一般常用于純水設(shè)備上，是純水設(shè)備上關(guān)鍵的一部分，活性炭過濾器通過吸附，可以提高水質(zhì)，防止污染。
活性過濾器是一種罐體內(nèi)部填裝的材料，外殼由器械包裹，一般為不銹鋼或者是玻璃鋼，內(nèi)部填充材料，用來過濾純水設(shè)備中的水質(zhì)，降低水的色度和金屬離子等。有效的提高水質(zhì)。被廣泛的應(yīng)用在工業(yè)上，尤其是污水處理，生活用水和市政用水上起著至關(guān)重要的作用。
活性炭材料的組成主要是煤、木炭、果核等原材料，經(jīng)過高溫處理碳化處理，產(chǎn)出來的原材料就是活性炭了。純水設(shè)備不僅有活性炭過濾，其超濾、納濾、反滲透、離子樹脂等在凈化水質(zhì)上同樣發(fā)揮著巨大的作用。
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