電子半導(dǎo)體超純水
半導(dǎo)體芯片用水主要在于前端晶棒硅切片冷卻用水,基板晶圓片檢測清洗用水,中段晶圓片濺鍍、曝光、電鍍、光刻、腐蝕等工藝清洗,后段檢測封裝清洗。
光伏多晶硅超純水太陽能光伏產(chǎn)業(yè)主要生產(chǎn)集中在多晶硅提純、拉單晶、多晶硅鑄錠、太陽能電池片等,這些生產(chǎn)工藝中主要動力需求包括:超純水,電源,特氣。
光學(xué)光電超純水光電光學(xué)玻璃行業(yè)的超純水設(shè)備主要是為玻璃清洗時給超聲波提供超純水。
液晶面板超純水液晶面板生產(chǎn)大約50%以上工序中硅片與超純水直接接觸,有80%以上工序需要進(jìn)行化學(xué)處理,而化學(xué)處理又與超純水有密切關(guān)系,并且直接與工件接觸,如果水質(zhì)不純,就會導(dǎo)致器件性能下降,影響產(chǎn)品性能,進(jìn)而影響了產(chǎn)品的良率。
鋰電新能源超純水作為電解液的重要成分,水在電池中起著至關(guān)重要的作用,一般情況下的水中含有鈣鎂離子,固體顆粒、膠狀物質(zhì)等導(dǎo)電物質(zhì),會縮短蓄電池的使用壽命,也不符合國家有關(guān)電池用水的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范,所以需要水質(zhì)高的超純水作為電池電解液。